型号：P-170
品牌：KLA
所属：探针式轮廓仪P-170
简介：Tencor P-170是一款自动化轮廓仪，具有行业领先的P-17的台式系统测量性能和经HRP®-260生产验证的机械手臂。这种组合为半导体、化合物半导体和相关行业提供了一种拥有基于机械手臂系统的低成本解决方案。Tencor P-170支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行2D和3D测量，扫描范围可达200毫米且无需拼接。
通过结合UltraLite®传感器、恒力控制和超平扫描样品台，可实现出色的测量稳定性。使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor P-170支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。全自动测量是通过自动晶圆处理、图形识别、排序和特征检测实现的。
型号：P-17
品牌：KLA
所属：探针式轮廓仪P-17
简介：Tencor P-17是第八代台式探针式轮廓仪，它凝结了逾40年的表面量测经验。该行业领先的系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达200mm，无需拼接。
出色的测量稳定性通过结合UltraLite® 传感器、恒力控制和超平扫描样品台实现。通过使用点击式样品台控制、顶视和侧视光学元件以及具有光学变焦功能的高分辨率相机，可快速轻松地设置程式。Tencor P-17探针式轮廓仪支持2D或3D测量，可使用多种滤波、调平和分析算法来测量表面形貌。通过图形识别、序列和特征检测实现全自动测量。
型号：P-7
品牌：KLA
所属：探针式轮廓仪P-7
简介：Tencor P-7探针式轮廓仪为生产和研发(R&D)环节提供了从几纳米到一毫米的台阶高度测量功能。该系统支持对台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力进行二维(2D)和三维(3D)测量，扫描范围可达150毫米，无需拼接。
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型号：D-500
品牌：KLA
所属：探针式轮廓仪D-500
简介：Alpha-Step D-500探针式轮廓仪能够测量几纳米到1200微米高的2D台阶。D-500也支持在研发和生产环节中对粗糙度、弯曲度和应力进行2D测量。D-500探针式轮廓仪搭载了140毫米手动载台和具有增强影像控制的高级光学系统。
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型号：D-600
品牌：KLA
所属：探针式轮廓仪D-600
简介：Alpha-Step D-600 探针式轮廓仪能够测量从几纳米到 1200微米的2D和3D台阶高度。D-600 还支持2D和3D的粗糙度测量，以及用于研发和生产环节的2D翘曲度和应力测量。D-600 包含一个带有200 毫米样品载台的电动样品台和具有增强影像控制的高级光学器件。
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