产品描述
iMicro 纳米压痕仪标配InForce 1000作动器，用于进行纳米压痕和万能纳米力学 试验，并可选配InForce 50作动器用于测试较软的材料。InView 软件包灵活、现 代，让用户轻松进行纳米尺度测试。iMicro是一款紧凑型测试平台，其箱体中内 置高速InQuest控制器和隔振框架。各种不同的材料和器件均可以进行测试，包 括金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等。
产品特色
InForce 1000作动器采用电容式位移传感和电磁力驱动，且压头易于更换
InForce 50作动器选件，提供最大50mN的法向力，可用于测量较软的材料；Gemini 2D作动器选件，可实现两个方向的动态测量独特的压头校准系统，集成在软件中，可实现快速、准确的压头校准
InQuest高速控制器电路，数据采集速率可达100kHz，时间常数最快为20µs
XY运动系统以及易于安装的磁性样品台
高刚度框架，且集成隔振功能
集成显微镜，数字变焦，可实现精确的压痕定位
符合ISO 14577等标准的测试方法
InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在线培训和InView移动应用程序
产品应用
硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）
快速材料力学性能成像
ISO 14577 硬度测试
聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量
定量的划痕和磨损测试
高温纳米压痕测试
适用行业
大学、科研实验室和研究所
半导体与封装产业
PVD/CVD 硬质涂层（DLC、TiN）
MEMS：微机电系统/万能纳米力学试验
陶瓷与玻璃
金属与合金
制药
涂层 涂料
复合材料
电池与储能
汽车与航空航天
主要应用
硬度和模量测量（基于 Oliver-Pharr 模型）
力学性能表征在薄膜的制造和工艺控制中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量控制，以及半导体制造中前段和后段的工艺控制。
iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬质涂层的各种材料的硬度和模量。高效地评估材料性能，保证了在生产线上进行有效的质量管控。
快速材料力学性能成像
对于包括复合材料在内的许多材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。iMicro的样品台在X轴和Y轴方向上能够分别移动100mm，且其在Z轴方向上能够移动25mm，因此可以测试尺寸大且高度不同的样品。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。
ISO 14577 硬度测试
iMicro 纳米压痕仪内置预先编写的 ISO 14577 测试方法，其依据 ISO 14577 标准测量材料硬度。该测试方法可以自动测量并输出杨氏模量、纳米压痕硬度、维氏硬度和归一化压痕功。
聚合物损耗因子、储存模量和损耗模量
iMicro 纳米压痕仪能够测量超软材料（包括粘弹性聚合物）的损耗因子、储存模量和损耗模量。储存模量、损耗模量和损耗因子是粘弹性聚合物的重要性能，因为作用到此类材料上的能量以弹性能的形式储存或以热量的形式耗散。上述指标即用于衡量材料中的能量储存和耗散情况。
定量的划痕和磨损测试
iMicro 可以对多种材料进行划痕和磨损测试。涂层和薄膜要经受多种工艺流程，例如化学机械抛光(CMP)和引线键合，这会考验这些薄膜的强度及其与衬底的附着力。对这些材料来说，重要的是在这些流程中抵抗塑性形变，并保持完好而不从衬底上剥离。理想情况下，电介质材料应具有较高的硬度和弹性模量，这将有助于其在经历制造流程时有效抵抗外界影响。
高温纳米压痕测试
高温纳米压痕对于表征热应力作用下的材料性能至关重要，在定量研究热机械加工过程中的失效机理时更是如此。在不同温度下进行力学测试，不仅可以研究材料受热时的性能变化，还可以量化研究材料的塑性转变，这在纳米尺度上并非易事。
