产品介绍：
iNano采用InForce 50驱动器进行纳米压痕和通用纳米机械测试（iMicro采用InForce1000驱动器）。 InForce 50的50mN力荷载和50μm位移范围使得该系统适合各种测试。 InView软件是一个灵活的现代软件包，可以轻松进行纳米级测试。 iNano是内置高速InQuest控制器和隔振门架的紧凑平台。 该系统可以测试金属、陶瓷、复合材料、薄膜、涂层、聚合物、生物材料和凝胶等各种不同的材料和器件。
主要功能：
InForce 50驱动器，用于电容位移测量，并配有电磁启动的可互换探头
独特的软件集成探头校准系统，可实现快速准确的探头校准
InQuest高速控制器电子设备，具有100kHz数据采集速率和20μs时间常数
XY移动系统以及易于安装的磁性样品架
带数字变焦的集成显微镜，可实现精确的压痕定位
ISO 14577和标准化测试方法
InView软件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus报告、InView大学在线培训和InView移动应用程序。
主要应用：
硬度和模量测量(Oliver Pharr)
高速材料性质分布
ISO 14577硬度测试
聚合物tan delta，储存和损耗模量
样品加热
工业应用：
大学、研究实验室和研究所
半导体和封装行业
聚合物和塑料
MEMS（微机电系统）/纳米级通用测试
陶瓷和玻璃
金属和合金
制药
涂料和油漆
聚合物制造
复合材料
电池和储能
硬度和模量测量（Oliver Pharr）
机械表征在薄膜的加工和制造中至关重要，其中包括汽车工业中的涂层质量，以及半导体制造前段和后段的工艺控制。
iMicro纳米压痕仪能够测量从超软凝胶到硬涂层的各种材料的硬度和模量。 对这些特性的高速评估保证了在生产线上进行质量控制。
高速材料性质分布
对于包括复合材料在内的许多材料，其机械性能可能因部位而异。 iMicro的样品平台可以在X轴和Y轴上移动100mm，并在Z轴方向移动25mm，这使得该系统适用于不同的样品高度并可以在很大的样品区域上进行测量。 可选的NanoBlitz形貌和层析成像软件可以快速绘制任何测得的机械属性的彩色分布图。
ISO 14577硬度测试
iMicro纳米压痕仪包括预先编写的ISO 14577测试方法，可测量符合ISO 14577标准的材料硬度。 该测试方法对杨氏模量、仪器硬度、维氏硬度和标准化压痕进行自动测量和报告。
聚合物Tan Delta、储存和损失模量
iMicro纳米压痕仪能够针对包括粘弹性聚合物的超软材料测量tan delta和储存与损耗模量。 储存与损耗模量以及tan delta是粘弹性聚合物的重要特性，其能量作为弹性能量存储并作为热量消耗。 这两个指标都用于测量给定材料的能量消耗。
定量划痕和磨损测试
iMicro可以对各种材料进行刮擦和磨损测试。 涂层和薄膜会经过化学机械抛光（CMP）和引线键合等多道工艺，考验薄膜的强度及其与基板的粘合性。 重要的是这些材料在这些工艺中抵制塑性变形，并且保持原样而不会基板起泡。 理想地，介电材料应具有高硬度和弹性模量，因为这些参数有助于确定材料在制造工艺下会如何反应。
高温纳米压痕测试
高温下的纳米压痕对于表征热应力下的材料性能至关重要，特别对热机械工艺中的失效机理进行量化。 在机械测试期间改变样品温度不仅能够测量热引起的行为变化，还能够量化在纳米级别上不易测试的材料过渡塑性。
连续刚度测量 (CSM)
连续刚度测量用于量化动态材料特性，例如应变率和频率引起的影响。CSM技术采用在压痕期间振荡压头以测量随深度、力荷载、时间或频率而变化的特性。 该选项包括恒定应变率实验，该实验测量硬度和模量与深度或载荷的函数关系，这是学术界和工业界常用的测试方法。 CSM还可用于其他高级测量选项，包括用于存储和损耗模量测量的ProbeDMA™方法和与基板无关的测量方法AccuFilm™。CSM功能集成在InQuest控制器和InView软件中，易于使用并且保证数据质量。
InForce 50 驱动器
InForce 50驱动器采用高达50mN的力度进行纳米力学测试。电磁力专利技术应用可确保稳定的测量和力荷载与位移的长期稳定性。确保谐波运动受限于一个自由度，从而力荷载和位移可控制在一个轴向。InForce 50驱动器与CSM、NanoBlitz、ProbeDMA、生物材料、样品加热、划痕、磨损和ISO 14577等测试选项兼容。整个系列的InForce和Gemini驱动器的压头都可以互换。
Gemini 双轴驱动器
Gemini双轴技术为第二个横轴提供了标准压痕性能，并且采用CSM同时沿两个轴运行。该专利技术所增加的信息有助于深入了解材料特性和失效机理。二维传感器是测量横向力和摩擦测量所必须的，并能够用于测量泊松比、摩擦系数、划痕、磨损、剪切和拓扑。
300°C样品加热
300°C样品加热选项允许将样品放入工作室中进行均匀加热的同时使用InForce 50驱动器进行测试。该选项包括高精度温度控制、惰性气体回填以减少氧化，以及冷却以去除废热。 ProbeDMA，AccuFilm，NanoBlitz和CSM均与样品加热选项兼容。
NanoBlitz 3D
NanoBlitz 3D利用InForce 50驱动器和Berkovich压头绘制高E（> 3GPa）材料的纳米力学性质的3D分布。NanoBlitz以每个压痕<1s实现多达100,000个压痕（300x300阵列），并对阵列中的每个压痕在指定负载下测量杨氏模量（E）、硬度（H）和刚度（S）值。大量的测试数据能够提高统计的准确性。直方图显示多个阶段或材料。NanoBlitz 3D方法包具有可视化和数据处理功能。
NanoBlitz 4D
NanoBlitz 4D利用InForce 50驱动器和Berkovich压头为低E/H和高E（> 3GPa）材料绘制4D纳米机械特性的分布。NanoBlitz以每次压缩5-10s进行多达10,000个压痕（30x30阵列）测试，并以每个压痕的深度为函数对杨氏模量（E）、硬度（H）和刚度（S）进行测量。 NanoBlitz 4D采用恒定应变率方法。该功能包具备可视化和数据处理功能。
AccuFilm™薄膜方法组合
AccuFilm薄膜方法组合是一种基于Hay-Crawford模型的InView测试方法，采用连续刚度测量（CSM）对基板无关的材料特性进行测量。AccuFilm对软基板上硬性薄膜测量进行基板材质的影响的校正，也对硬基板上的软性薄膜进行同类的校正。
ProbeDMA™ 聚合物方法组合
聚合物包提供了对聚合物的复数模量作为频率的函数进行测量的能力。该包装包括平冲头、粘弹性参考材料和用于评估粘弹性的测试方法。传统动态力学分析（DMA）测试仪器无法很好地表征的纳米级聚合物和聚合物薄膜，而这种技术是对其进行表征的关键。
